GRYLLS數字量氣體流量控制器

GRYLLS數字量氣體流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；

GRYLLS數字量氣體流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

產品應用:

玻璃行業、太陽能、大氣監測、工業制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環保、各種儀器分析

格里爾斯GRYLLS-5950系列模擬式質量流量計/控制器(低量程)技術參數:

技術指標GRYLLS-5950系列-FC質量流量控制器/GRYLLS-5950系列-FM 質量流量計

格里爾斯GRYLLS-5950系列模擬式質量流量計量程范圍5SCCM ~ 30SLM

準確度±1.0%F.S

溫度:±1℃

線性±0.5%F.S

重復精度±0.2%F.S

響應時間<2s<1.5s

模擬量0 ~ 5V、4 ~ 20mA

供電±15VDC,24VDC

工作溫度0 ~ 50℃

工作壓力工作壓差:0.05 ~ 0.5MPa工作壓降:<30Kpa

*耐壓3MPa/10MPa

電氣連接DB15 孔

漏率1×10-9SCCSHe

溫度系數±0.015%F.S/℃

底座材質316L

密封材質氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠

接頭φ3,φ6,1/8",1/4"